運行中電氣設備的SF6氣體濕度監測是非常重要的。氣體濕度的高低對電氣設備的滅弧性能、絕緣強度以及電氣設備的壽命影響很大。

斷路器隔室SF6氣體濕度要求較嚴，這主要考慮到滅弧隔室在滅弧時產生高溫，高溫下SF6氣體易分解或與氣體中水分等雜質合成一些有毒或腐蝕性化學物。如SF4、SO2、SOF2等，腐蝕性物質明顯會腐蝕滅弧內的金屬元件，增大主觸頭的接觸電阻和縮短使用壽命。對于頻繁操作的（如無功補償設備等）。若水分含量偏高會明顯腐蝕滅弧觸頭。使觸頭變短。最終由于滅弧觸頭不能滅弧而導致斷路器爆炸事故。

從《SF6電氣設備中氣體管理和檢測導則》中知，SF6設備在充入SF6氣體24h后進行氣體濕度測量。其值為交接驗收值。設備運行后半年內再測量一次氣體濕度。以后每1~3年測量一次。根據《SF6電氣設備氣體監督細則》，對于用氣量小且充氣壓力低于350kＰa的SF6氣體濕度外，運行中，只要不發生漏氣，可不必進行氣體濕度測量。SF6設備氣體濕度測量要注意如下幾點：

（1）定期地測量應選擇干燥、濕度低的季節，最后氣候條件相似。因為環境溫度、濕度對于SF6氣體的濕度的測量影響較大。

（2）測量儀器使用前應采用干燥的氮氣或合格的新SF6氣體沖洗測量管道。必須使用專用管道，長度盡量短，一般在5m內為佳。

（3）在測量前要充分清抹設備的SF6氣體測量接口，特別是戶外的設備，必要時可用電熱吹風機干燥接口。

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